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位移传感器校准技术研究
引用本文:何小妹,唐志锋,王晓梅.位移传感器校准技术研究[J].计测技术,2011(6):15-17.
作者姓名:何小妹  唐志锋  王晓梅
摘    要:介绍了一种直线位移传感器校准装置.该系统以自行研制开发的高准确度单频激光干涉仪为长度标准,通过可编程位移发生装置的配套使用实现了直线位移传感器的校准.

关 键 词:位移传感器  单频激光干涉仪  校准
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