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一种新型激光位移传感器
引用本文:马军山 禹延光. 一种新型激光位移传感器[J]. 哈尔滨工业大学学报, 1998, 30(6): 12-15
作者姓名:马军山 禹延光
作者单位:哈尔滨工业大学仪器仪表及测控技术系!150001
基金项目:国家自然科学基金!59675077
摘    要:介绍了一种基于激光自混合干涉效应的位移传感器原理,给出位移干涉信号的理论模型,并进行了仿真分析,阐述了干涉信号的特征;建立了位移传感器的实验系统,进行了初步的实验研究,证明了自混合干涉位移传感器具有传统干涉仪相同的位移灵敏度。

关 键 词:半导体激光器 位移传感器 激光位移传感器

Study of A New Displacement Sensor Using Laser Diode
Ma Junshan, Yu Yanguang, Sun Xiaoming , Qiang Xifu. Study of A New Displacement Sensor Using Laser Diode[J]. Journal of Harbin Institute of Technology, 1998, 30(6): 12-15
Authors:Ma Junshan   Yu Yanguang   Sun Xiaoming    Qiang Xifu
Abstract:The principle of the displacement sensor based on the seif-mixing interference in laser diode is described, a theoretical model is given to explain the asymmetry of self-mixing interference signal and the experimentalresultS shows the displacement sensor based on the self-mixing inteIference has the same displacement sensitivity asa conventional interferomter.
Keywords:Laser diode  self-mixing interference  displacement sensor
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