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| 碳和氮原子在氧沉淀中的作用 | |
| 作者姓名： | 刘培东 朱爱平 张锦心 李立本 阙端麟 |
| 作者单位： | 浙江大学硅材料科学国家重点实验室，浙江半导体技术有限责任公司 |
| 摘 要： | 本文研究硅中碳、氮原子对氧沉淀的作用机制，指出硅中碳、氮对间隙氧相互作用构成碳－硅－氧、氮对－硅－氧复合体，它们脱溶成核、构成氧沉淀的异质形核中心，促进氧沉淀的生成．文章指出硅中的氮仅参与氧沉淀的成核，而碳原子因条件而异，既可参与氧沉淀的成核，也可参与氧沉淀的长大．研究表明，高碳样品，在低于９００℃的热处理时，碳原子参与氧沉淀的长大，可显著降低氧沉淀引起的体积应变能，促进氧沉淀的长大；高于９００℃的热处理，碳原子可不参与氧沉淀的长大．但如果不经过高温预处理，由于在低温热历史中，碳原子已参与氧沉淀胚核的形成 |
| 关 键 词： | 碳 氮 硅 氧沉淀 成核 高碳样品 |
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