| 离子辅助沉积对 ZnS/MgF2滤光片光谱漂移的影响 |
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| 引用本文： | 鲁法珂,顾培夫,张德景.离子辅助沉积对 ZnS/MgF2滤光片光谱漂移的影响[J].浙江大学学报(自然科学版 ),2004,38(11):1511-1514. |
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| 作者姓名： | 鲁法珂 顾培夫 张德景 |
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| 作者单位： | 鲁法珂（浙江大学,现代光学仪器国家重点实验室,浙江,杭州,310027）;顾培夫（浙江大学,现代光学仪器国家重点实验室,浙江,杭州,310027）;张德景（浙江大学,现代光学仪器国家重点实验室,浙江,杭州,310027） |
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| 摘 要： | 采用霍尔源离子辅助沉积(IAD)技术制备了ZnS/MgF2多层膜窄带干涉滤光片,并与常规沉积条件下制备的样品作比较.结果发现离子辅助沉积明显减小了滤光片的光谱漂移,实测漂移小于O.5 nm,光谱稳定性得到很大提高.计算了滤光片中MgF2膜层的聚集密度,离子辅助沉积使MgF2膜的聚集密度从常规条件下的0.70提高到O.97,增幅达38%.间隔层对光谱漂移的影响最大,越远离间隔层的膜层,其影响越小.
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| 关 键 词： | 离子辅助沉积 窄带滤光片 光谱漂移 聚集密度 |
| 文章编号： | 1008-973X(2004)11-1511-04 |
| 修稿时间： | 2003年12月18 |
Spectral shift of ZnS/MgF2 filters deposited by ion-assisted-deposition |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | ZnS/MgF2 |
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