| 平面振动式微硅型加速计的研制 |
| |
| 引用本文： | 茅盘松 方玉明 袁鲸. 平面振动式微硅型加速计的研制[J]. 传感技术学报, 1997, 10(4): 34-37 |
| |
| 作者姓名： | 茅盘松 方玉明 袁鲸 |
| |
| 作者单位： | 东南大学电子工程系!南京210096 |
| |
| 摘 要： | 本文详细介绍了一种单片硅平面振动式微型加速计的结构及其工作原理，分析了在其设计制造过程中所需要考虑的各个因素，最后还介绍了其工艺实现方法。
|
| 关 键 词： | 加速度计 设计 平面振动式 微硅型 |
A Study of a Planar Vibrator Micromechanical Silicon Accelerometer |
| |
| Mao Pansong Fang Yuming Yuan Jing. A Study of a Planar Vibrator Micromechanical Silicon Accelerometer[J]. Journal of Transduction Technology, 1997, 10(4): 34-37 |
| |
| Authors: | Mao Pansong Fang Yuming Yuan Jing |
| |
| Abstract: | In this paper, the structure and operating principle of a planar vibrator micromechamical silicon accelerometer, and the way of the designing and the preparation are introduced. |
| |
| Keywords: | accelerometermicromechanical accelerometerdesignpreparation |
| 本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录！ |
| 点击此处可从《传感技术学报》浏览原始摘要信息 |
|
点击此处可从《传感技术学报》下载全文 |
