| 先进制造技术之——IC与MEMS制造技术及其发展趋势 |
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| 引用本文： | 王志越.先进制造技术之——IC与MEMS制造技术及其发展趋势[J].电子工业专用设备,2002,31(4):187-195. |
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| 作者姓名： | 王志越 |
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| 作者单位： | 中国电子科技集团公司第四十五所,北京东燕郊,101601 |
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| 摘 要： | 概述了集成电路 (IC)生产的基本工艺流程及其关键设备的国际国内水平 ,展望了IC制造工艺设备的发展趋势 ;同时介绍了微电子机械系统 (MEMS)的用途、发展方向及先进的IC制造技术在MEMS生产中应用前景
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| 关 键 词： | IC 工艺技术 制造设备 MEMS 现状与前景 |
| 文章编号： | 1004-4507(2002)04-0187-09 |
| 修稿时间： | 2002年11月20 |
Advanced Manufacturing Technology |
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| WANG Zhi,yue.Advanced Manufacturing Technology[J].Equipment for Electronic Products Marufacturing,2002,31(4):187-195. |
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| Authors: | WANG Zhi yue |
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| Abstract: | Summarize the basic process flow of IC production and the International and internal level of its key equipment, prospecting the trend of IC process equipment. Also introducing the application, development trend of MEMS and the application prospects of advanced IC manufacturing technology in MEMS production. |
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| Keywords: | Integrated Circuit (IC) Process technology Manufacturing equipment Microelectronic Mechanical System(MEMS) Current situation and future prospect |
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