| 直拉单晶炉减薄型加热器的数值模拟与实验分析 |
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| 引用本文： | 耿博耘,韩焕鹏.直拉单晶炉减薄型加热器的数值模拟与实验分析[J].电子工业专用设备,2015(3):26-31. |
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| 作者姓名： | 耿博耘 韩焕鹏 |
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| 作者单位： | 中国电子科技集团第四十六研究所,天津,300220 |
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| 基金项目： | 天津市青年基金项目(12JC Q N JC 01700):低缺陷、高均匀性直拉硅热场和工艺优化模拟的研究。 |
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| 摘 要： | 在直拉单晶炉中使用一种减薄型加热器替代原加热器,改变了单晶炉的热场温度分布。通过有限元模拟分析软件对减薄型加热器进行模拟分析,模拟结果指出减薄型加热器对提升单晶拉速、降低单晶炉功耗具有促进作用。通过对比两种加热器装料量,并进行单晶生长对比实验,实验指出,减薄型加热器在引晶、等径、收尾阶段均降低了功耗,提升了拉速。最后,数据分析指出减薄型加热器的经济性比原加热器有一定提升。
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| 关 键 词： | 减薄型加热器 数值模拟 对比性实验 经济性分析 |
Numerical Simulation and Experiment Analysis of Thinned Heater in Czochralski Crystal Furnace |
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| GENG Boyun,HAN Huanpeng.Numerical Simulation and Experiment Analysis of Thinned Heater in Czochralski Crystal Furnace[J].Equipment for Electronic Products Marufacturing,2015(3):26-31. |
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| Authors: | GENG Boyun HAN Huanpeng |
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| Affiliation: | GENG Boyun;HAN Huanpeng;The 46th research institute of CETC; |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | N um erical sim ulation T hinned heater C om parative experim ent E conom ic analysis |
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