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| Lam Research的先进深硅刻蚀技术 | |
| 作者姓名： | Jay Minami Alisa Hart |
| 作者单位： | 泛林研究公司,弗里蒙特,加州94538 U.S.A. |
| 摘 要： | 在一个人们期望即时信息的社会,等上几秒钟,时间似乎变得很长。随着万亿传感器的视野和物联网(I OT)互联网的不断发展,对于智能传感器出现了明显的需求:即对大量数据进行分类,区分有用信息和噪音,节省珍贵的几秒钟。随着智能传感器的发展,微机电系统(MEMS)、电源装置以及先进封装蚀刻应用需要 |
| 关 键 词： | 智能传感器 刻蚀技术 Lam Research 先进封装 微机电系统 电源装置 物联网 即时信息 均匀性 腔壁 |
| 本文献已被 CNKI 万方数据 等数据库收录！ | |