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| 紫外激光制备超材料表面微槽实验结果及分析 | |
| 作者姓名： | 秦傲 姜开宇 梁化斌 周维一 段富海 |
| 作者单位： | 大连理工大学机械工程学院 |
| 摘 要： | 为解决利用紫外激光制备不同金属涂层超材料微槽结构的尺寸精度问题，对银、1060铝、黄铜和硬质合金四种不同金属表面进行标刻获得线槽微结构；然后分析不同激光参数在不同材料表面加工线宽和槽深微结构的影响；最后通过实验找出在特定线槽深度时四种材料线槽宽度的最小值及对应的激光加工参数．实验结果表明在一定范围内脉冲宽度、重复频率的减小和单位长度脉冲数目的增大会使线宽和槽深增大，由此拟合出线宽和槽深与脉冲宽度、重复频率、材料电阻率的变化方程．这可为制备高精度金属超材料表面微槽结构提供实验依据． |
| 关 键 词： | 激光加工 微纳结构 紫外激光 金属材料 |