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| V型MEMS电热执行器技术研究 | |
| 作者姓名： | 保慧琴 卫霞 李茹 |
| 摘 要： | V型电热执行器结构简单、执行力大、能够输出直线型位移,广泛用于MEMS系统中.利用热电效应,对V型电热执行器进行了讨论,得到了执行器上温度分布、最大位移以及阶跃响应时间的理论分析值,并利用有限元分析软件ANSYS进行了仿真验证,结果表明理论分析值和仿真结果保持一致.对执行器的几何参数对器件性能的影响进行研究,搭建测试平... |
| 关 键 词： | 电热执行器 温度分布 位移 响应时间 |
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