| TiN模板热压印中的若干关键影响因素仿真分析 |
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| 引用本文： | 孙国良,王海容,高鲜妮,周志涛,蒋庄德.TiN模板热压印中的若干关键影响因素仿真分析[J].机械强度,2011,33(2):285-289. |
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| 作者姓名： | 孙国良 王海容 高鲜妮 周志涛 蒋庄德 |
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| 作者单位： | 机械制造系统工程国家重点实验室,西安,710049;西安交通大学,精密工程研究所,西安,710049 |
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| 基金项目： | 国家高新技术863 项目，新世纪优秀人才支持计划，国家自然科学基金重点项目 |
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| 摘 要： | 在热压印过程中,模板和基体上的聚合物直接物理接触,压印压力、温度和时间是决定压印效果的主要因素.模板是否完全填充,对压印质量有着至关重要的影响,为了获得正确的压印参数,有必要了解在热压印过程中的聚合物流动机理.文中使用Ansys 有限元软件数值仿真热压印过程中的相关问题.首先,建立超弹模型,仿真分析热压印过程中压力与聚...
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| 关 键 词： | 热压印模板 超弹模型 应力分布 热膨胀系数 |
INVESTIGATION ON SEVERAL CRUCIAL FACTORS INFLUENCING THE HOT-EMBOSSING LITHOGRAPHY WITH TiN MOLD |
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| SUN GuoLiang,WANG HaiRong,GAO XianNi,ZHOU ZhiTao,JIANG ZhuangDe.INVESTIGATION ON SEVERAL CRUCIAL FACTORS INFLUENCING THE HOT-EMBOSSING LITHOGRAPHY WITH TiN MOLD[J].Journal of Mechanical Strength,2011,33(2):285-289. |
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| Authors: | SUN GuoLiang WANG HaiRong GAO XianNi ZHOU ZhiTao JIANG ZhuangDe |
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