基于短波长紫外激光的光学元件成形

1　前言在激光核聚变中需要大量使用大尺寸、高精度的光学元件。例如 ,直径达 6 0～ 10 0cm的反射镜 ,40～ 80 cm量级的聚焦透镜及激光窗片 ,对应于直径 35 cm光束的激光玻璃等 ,均要求以λ/ 6以下的波前像差制作 ,供装置使用。这些光学元件几乎都采用研磨工艺制作 ,尤其是大尺寸光学元件 ,因为研磨工艺及波前的检查、校正都是花费时间并要求操作熟练的作业 ,需要长制作周期和高成本。此外 ,在激光核聚变中 ,当用多束激光照射靶丸时 ,需用光学元件消除每条光束的不均匀性。为此 ,就必须控制插入光学元件的透射或反射波前 ,以在靶丸上获得均…