| Pt/LaF3敏感膜MIS型固态氧传感器研制 |
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| 引用本文： | 牛文成,俞梅,庚向东,祁增芳,张福海.Pt/LaF3敏感膜MIS型固态氧传感器研制[J].传感技术学报,1995,8(3):1-4. |
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| 作者姓名： | 牛文成 俞梅 庚向东 祁增芳 张福海 |
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| 作者单位： | 南开大学电子科学系!天津300071 |
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| 摘 要： | 研究了可在室温下工作，且具有Ｐｔ／ＬａＦ３敏感膜的ＭＩＳ型固态氧传感器，讨论了它的敏感机理，测试并分析了传感器的响应特性。
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| 关 键 词： | 敏感膜 MIS型 氧传感器 传感器 |
Development of the MIS-type Solid State Oxygen Sensor Using Pt/LaF_3 Sensing Film |
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| Niu Wencheng Yu Mei Yu Xiangdong Qi Zengfang Zhang Fuhai.Development of the MIS-type Solid State Oxygen Sensor Using Pt/LaF_3 Sensing Film[J].Journal of Transduction Technology,1995,8(3):1-4. |
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| Authors: | Niu Wencheng Yu Mei Yu Xiangdong Qi Zengfang Zhang Fuhai |
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| Abstract: | This paper studies MIS-type solid-state oxygen sensor using Pt/LaF, sensingfilm working at room temperature, discussed its sensing mechanism, tested and analy-sised the response characteristics of sensor. |
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| Keywords: | Pt/LaF3 sensing film MIS-type solid state oxygen sensorroom temperature |
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