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| ZnO/SnO2双层膜的结构及敏感特性研究 | |
| 作者姓名： | 娄向东沈荷生 沈瑜生 |
| 作者单位： | 河南师范大学化学系!河南新乡453002(娄向东),中国科学技术大学材料科学与工程系!合肥230026(沈荷生,沈瑜生) |
| 摘 要： | 将ＳｎＯ２及ＺｎＯ粉末压制成靶材,采用溅射衍制备了ＺｎＯ／ＳｎＯ２双层薄膜,用ＸＰＳ,ＸＲＤ,ＳＥＭ等手段对制得的薄膜进行分析测试,发现双层膜表面有一定量的吸附氧存在,双层膜中锌、锡有一定的相互扩散,比较了单层ＳｎＯ２及ＺｎＯ膜与双层膜的气敏特性,结果表明双层膜在灵敏度及选择性方面都优于单层膜。 |
| 关 键 词： | 气敏元件 双层膜 氧化锌 氧化锡 敏感特性 |
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