| 纳米Ti-Si-N薄膜的高温热稳定性 |
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| 引用本文： | 马大衍,马胜利,徐可为,S.Veprek. 纳米Ti-Si-N薄膜的高温热稳定性[J]. 材料研究学报, 2004, 18(6): 617-622 |
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| 作者姓名： | 马大衍 马胜利 徐可为 S.Veprek |
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| 作者单位： | 1. 西安交通大学金属材料强度国家重点实验室
2. 慕尼黑工业大学 |
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| 基金项目： | 国家高技术研究发展计划(863计划) , 国家自然科学基金 , 高等学校博士学科点专项科研项目 |
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| 摘 要： | 用直流等离子体增强化学气相沉积(PCVD)方法在不锈钢基体上制备了Ti-Si-N硬质纳米复合薄膜,研究了Si含量对薄膜硬度的影响及高温退火对薄膜晶粒尺寸及其硬度的影响.结果表明:薄膜的硬度随着Si含量的增加有先增大后减小的趋势,最大硬度可达70 GPa以上.薄膜表现出了较高的热稳定性能,对于晶粒尺寸在4 nm以下的薄膜,Ti-Si-N薄膜的纳米结构和硬度可以维持在1000℃以上.沉积态薄膜的晶粒尺寸是影响薄膜再结晶温度的主要因素.薄膜的高热稳定性是由于沉积过程中发生的自发调幅分解形成了纳米复合结构,偏析使得纳米晶晶界具有强的热力学稳定性.
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| 关 键 词： | 无机非金属材料 纳米薄膜 PCVD 硬度 热稳定性 纳米晶 薄膜 高温热稳定性 elevated temperature coatings stability 力学稳定性 晶界 偏析 纳米复合结构 分解形 调幅 发生 沉积过程 高热稳定性 因素 再结晶温度 沉积态 纳米结构 热稳定性能 |
| 文章编号： | 1005-3093(2004)06-0617-06 |
| 收稿时间： | 2004-12-29 |
| 修稿时间： | 2004-02-09 |
Thermal stability of nano--structure Ti--Si--N coatings at elevated temperature |
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| S.Veprek. Thermal stability of nano--structure Ti--Si--N coatings at elevated temperature[J]. Chinese Journal of Materials Research, 2004, 18(6): 617-622 |
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| Authors: | S.Veprek |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | inorganic non-metallic materials nanocomposite films PCVD hardness thermal stability |
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