| 几种纳米加工技术的原理、特点及其应用 |
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| 引用本文： | 赵保军 王英 张亚非. 几种纳米加工技术的原理、特点及其应用[J]. 纳米科技, 2007, 4(3): 44-48,59 |
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| 作者姓名： | 赵保军 王英 张亚非 |
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| 作者单位： | 上海交通大学微纳米科学技术研究院,薄膜与微细技术教育部重点实验室,微米/纳米加工技术国家级重点实验室,上海,200030;上海交通大学微纳米科学技术研究院,薄膜与微细技术教育部重点实验室,微米/纳米加工技术国家级重点实验室,上海,200030;上海交通大学微纳米科学技术研究院,薄膜与微细技术教育部重点实验室,微米/纳米加工技术国家级重点实验室,上海,200030 |
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| 基金项目： | 国家重点基础研究973计划资助项目（No：2006CB300406）,国家自然科学基金资助项目（No：50272039）,上海市自然科学基金（No：06ZR14047）,上海交通大学微纳科学技术研究院青年创新基金 |
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| 摘 要： | 从整体上介绍了基于传统半导体加工的纳米加工技术、探针直接书写式纳米加工技术、纳米复制加工技术，以及这几种纳米加工技术的原理、特点及其应用。
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| 关 键 词： | 纳米加工 掩膜 浸笔纳米印刷 微接触印刷 纳米压印 |
| 文章编号： | 1812-1918（2007）03-0044-06 |
| 修稿时间： | 2007-04-28 |
The Principle and Characteristic and Application of Nano-fabrication Technology |
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| ZHAO Bao-jun, WANG Yin, ZHANG Ya-fei. The Principle and Characteristic and Application of Nano-fabrication Technology[J]. , 2007, 4(3): 44-48,59 |
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| Authors: | ZHAO Bao-jun WANG Yin ZHANG Ya-fei |
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| Affiliation: | Research Institute of MicroNanometer Science and Technology, Key Laboratory for Thin Film and Microf abrication Technology of Ministry of Education, Shanghai Jiaotong University, Shanghai 200030, China |
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| Abstract: | The principle, characteristic and application of nano-fabrieation technology including nano-fabrieation based on traditional semiconductor fabrication, probe direct writing technology and nano-replication are introduced. |
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| Keywords: | nano-fahrication technology nano-mask dip-pen nanolithography microcontact printing nano lithography |
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