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| 硅微透镜阵列 | |
| 引用本文： | 麦志洪 易新建. 硅微透镜阵列[J]. 半导体光电, 1996, 17(2): 137-140 |
| 作者姓名： | 麦志洪 易新建 |
| 作者单位： | 华中理工大学 |
| 摘 要： | 采用融熔法制备球冠形的光致抗蚀剂掩膜，用离子束刻蚀实现球冠形向硅片上转和多，有效地在较低衬底温度下（低于２００℃）制备出了硅微透镜阵列，通过扫描电子显微镜（ＳＥＭ）和表面探针实验证实了微透镜为球冠形。 |
| 关 键 词： | 微透镜阵列 硅 离子束刻蚀 |
Silicon microlens arrays |
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| MAI Zhihong,YI Xinjian, ZHAO Xingrong. Silicon microlens arrays[J]. Semiconductor Optoelectronics, 1996, 17(2): 137-140 | |
| Authors: | MAI Zhihong YI Xinjian ZHAO Xingrong |
| Abstract: | |
| Keywords: | Semiconductor Technology Microlens Array Silicon Ion Beam Milling |
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