GaAlAs—GaAs、InGaAs—InP光电器件的表面特性与有机钝化

本文讨论了GaAlAs-GaAs、InGaAs-InP光电器件中反向漏电大,性能不稳定的各种因素。为使器件反向电流减少和稳定可靠,必须采用表面钝化措施。比较了无机钝化和有机钝化的优缺点,指出用聚酰亚胺作为多种半导体器件表面钝化膜的优点和实用价值。