0.18-μm CMOS工艺实现的毫米波宽带片上天线

本文论述了一个在0.18-μm CMOS低阻衬底（10 ?.cm）上实现的宽带毫米波片上贴片天线。天线的宽带特性是通过降低天线的Q值以及激励高阶辐射模式来实现的。本天线利用片上顶层金属做贴片，利用探针台做片外地平面构成贴片天线结构。片上的地平面通过片上PAD，探针和探针台实现了片上地平面到片外地平面的连接。仿真得到天线S11小于-10dB的区间为46GHz到95GHz，这与在40GHz到67GHz频段内的测试结果很好的吻合。Ansoft HFSS的仿真结果显示该天线在60GHz处有-5.55dBi的最大增益以及4%的辐射效率。和目前的技术发展水平比较，本天线得到了更宽的宽带特性。本天线结构可以满足宽带毫米波通信和毫米波成像的需求。