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| 高速钢刀具镀氮化碳超硬涂层研究 | |
| 引用本文： | 吴大雄,吴越侠,等.高速钢刀具镀氮化碳超硬涂层研究[J].真空科学与技术,2002,22(12):39-43. |
| 作者姓名： | 吴大雄 吴越侠 |
| 作者单位： | [1]武大弘毅新材料有限公司，武汉大学应用物理系，武汉430072 [2]武汉理工大学信息管理与信息系统系，武汉430072 |
| 摘 要： | 本采用DC反应磁控溅射和电弧离子镀相结合的方法在高速钢上沉积氮化碳－氮化钛复合膜，经X射线衍射分析，复合膜中存在α-C3N4和β－C3N4的硬质相，复合膜的显微硬度HK＝（50．5－54．1）GPa，它与高速钢基体的附着力，用划痕试验测得临界载荷Lc=(40-80)N，多种刀具试用证实，该涂层具有很高的耐磨性，与未涂层和镀TiN的刀具相比，大幅度提高了刀具的耐用度。 |
| 关 键 词： | 超硬涂层 氮化碳 超硬薄膜 高速工具钢 涂层刀具 电弧离子镀 DC反应磁控溅射 |
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