层流电子枪真空压差隔离导管的结构设计分析

为了避免层流电子枪低真空工作时的枪真空泄露或工作室反冲物引起的频繁放电,利用电子束光学数学模型,设计了一种真空压差隔离导管。最后装置在THDW牌电子束熔粉成形制备层流电子枪里,观察其真空隔离效果和不同加速电压下的通束情况。设计结果得出压差隔离导管孔径为3.6 mm,长度为10 mm。最后试验验证发现理论设计出的隔离导管成功克服了工作室低真空工作时的抢真空泄露问题,设计与试验吻合度为95.5%,并且其最值加速电压下电子束都顺利通过了隔离导管。因此该研究对层流电子枪压差隔离管的设计提供了有效理论依据。