CVD法制备单晶金刚石的现状及研究进展 |
| |
作者姓名: | 潘红星1 范波1 闫建明1 徐帅1 2 |
| |
作者单位: | 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司,河南 郑州,450001;郑州磨料磨具磨削研究所有限公司,河南 郑州 450001;超硬材料磨具国家重点实验室, 河南 郑州 450001 |
| |
摘 要: | 单晶金刚石因其独特结构而具有优异的物理化学性能,在许多科学技术领域具有潜在的重要应用价值,被广泛应用于工业、科技、国防、医疗卫生等众多领域。用化学气相沉积法实现高沉积速率、高质量、大面积的金刚石单晶的制备是目前研究的热点。本文对化学气相沉积法制备单晶金刚石的机理进行了分析,对比了化学气相沉积法合成金刚石的几种主要方法,总结了其优缺点,在已有研究工作和生产经验的基础上提出了合理化的建议,为单晶金刚石的产业化提供有价值的参考。
|
关 键 词: | 单晶金刚石 化学气相沉积法 合理化 产业化 |
本文献已被 CNKI 万方数据 等数据库收录! |
|