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| β－FeSi_2／SIMOX──一种新结构的光电子材料 | |
| 作者姓名： | 王连卫 沈勤我 林贤 林成鲁 邹世昌 庄志诚 |
| 作者单位： | 中国科学院上海冶金研究所信息功能材料国家重点实验室，上海交通大学理化中心 |
| 摘 要： | 本文采用固相外延法在ＳＩＭＯＸ衬底上生长了β－ＦｅＳｉ２薄膜，采用Ｘ射线衍射（ＸＲＤ），卢瑟辐背散射（ＲＢＳ）以及自动扩展电阻测量研究了样品的多层结构，Ｒａｍａｎ谱表征说明它与直接在硅片上生长的薄膜具有类似的晶格振动特性． |
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