薄膜干法刻蚀技术的现状与发展趋势

本文对薄膜刻蚀的原理及用途作了叙述，并对干法离子束刻蚀与湿法化学刻蚀的优缺点作了比较，还就国内外研究的现状作了叙述，最后对干法刻蚀的研究方向及发展趋势作了论述。