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| Mo/B4C多层膜界面热稳定性的TEM研究 | |
| 引用本文： | 薛钰芝,沈长斌,林纪宁,马月英,曹建林.Mo/B4C多层膜界面热稳定性的TEM研究[J].电子显微学报,1998,17(5):545-546. |
| 作者姓名： | 薛钰芝 沈长斌 林纪宁 马月英 曹建林 |
| 作者单位： | 1. 大连铁道学院,大连,116028 2. 长春光机所应用光学国家实验室 |
| 基金项目： | 辽宁省自然科学基金，， |
| 摘 要： | 软Ｘ射线光学多层膜反射镜应用于Ｘ射线激光、Ｘ射线显微镜、望远镜、Ｘ射线曝光机，同步辐射引出装置等，作为关键部件。这种多层膜由高原子序数和低原子序数的两种材料交替沉积堆垛而成。可看作间距纳米量级的一维晶体。目前Ｍｏ／Ｓｉ多层膜应用在波长为１３ｎｍ左右，... |
| 关 键 词： | 界面 热稳定性 MoB4C 多层膜 TEM |
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