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| 衬底温度对PLD法制备ZnO薄膜结构及发光特性的影响 | |
| 引用本文： | 赵杰,胡礼中,宫爱玲,刘维峰.衬底温度对PLD法制备ZnO薄膜结构及发光特性的影响[J].功能材料,2008,39(5):724-727. |
| 作者姓名： | 赵杰 胡礼中 宫爱玲 刘维峰 |
| 作者单位： | 1. 昆明理工大学,物理系,云南,昆明,650093;大连理工大学,三束材料改性国家重点实验室及物理系,辽宁,大连,116024 2. 大连理工大学,三束材料改性国家重点实验室及物理系,辽宁,大连,116024 3. 昆明理工大学,物理系,云南,昆明,650093 |
| 摘 要： | 在60Pa的高氧压气氛中,用脉冲激光沉积法以Si(111)为衬底在不同温度下制备了ZnO薄膜.RHEED和XRD结果表明,所有样品都是c轴高度择优取向的多晶ZnO薄膜.随衬底温度的升高,ZnO薄膜(002)衍射峰的半高宽不断减小,从0.227～0.185°.对(002)衍射峰的2θ值分析表明,650℃下生长的ZnO薄膜几乎处于无应力的状态,而在较低或较高温度下生长的薄膜中都存在着一定程度的c轴压应力.室温PL谱测试说明在650℃生长的ZnO薄膜具有最强的紫外发射峰和最窄的UV峰半高宽(83meV).在700℃得到的样品PL谱中,检测到一个位于3.25eV处的低能发射峰.经分析,该峰可能是来自于施主-受主对(DAP)的跃迁. |
| 关 键 词： | ZnO薄膜 反射式高能电子衍射 X射线衍射 光致发光 |
| 文章编号： | 1001-9731(2008)05-0724-03 |
| 修稿时间： | 2007年10月12 |
Effects of substrate temperature on structural and luminescent properties of ZnO thin films prepared by pulsed laser deposition |
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| ZHAO Jie,HU Li-zhong,GONG Ai-ling,LIU Wei-feng.Effects of substrate temperature on structural and luminescent properties of ZnO thin films prepared by pulsed laser deposition[J].Journal of Functional Materials,2008,39(5):724-727. | |
| Authors: | ZHAO Jie HU Li-zhong GONG Ai-ling LIU Wei-feng |
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