| 高精度氮化硅陶瓷球批量加工研磨工艺研究 |
| |
| 引用本文： | 林明星,吕冰海,袁巨龙,邓乾发,孟玲峰.高精度氮化硅陶瓷球批量加工研磨工艺研究[J].机电工程,2013,30(2). |
| |
| 作者姓名： | 林明星 吕冰海 袁巨龙 邓乾发 孟玲峰 |
| |
| 作者单位： | 1. 浙江工业大学特种装备制造与先进加工技术教育部/浙江省重点实验室,浙江杭州,310014
2. 江苏智邦精工科技有限公司,江苏常州,213164 |
| |
| 基金项目： | 江苏省科技支撑计划资助项目，常州市科技局资助项目 |
| |
| 摘 要： | 为解决高精度氮化硅陶瓷球批量研磨加工的问题,将超精密研磨技术应用到氮化硅陶瓷球的加工实验中.开展了研磨过程的分析,建立了不同研磨阶段陶瓷球球度、表面质量及材料去除率与所选不同大小粒度磨料之间的关系,并提出了对比分析的方法,在通过专业设备检测的基础上对成品球球度、表面粗糙度和振动值进行了评价.研究结果表明,氮化硅陶瓷球能够批量生产且球度达到0.062μm以下,表面粗糙度达到1.48 nm以下,振动值达到24 dB以下,实现了批量生产G3级氮化硅陶瓷球的目的.
|
| 关 键 词： | 氮化硅 陶瓷球 高精度 表面粗糙度 球度 研磨工艺 |
Research on lapping process in mass production for precision Si3N4 ceramic ball |
| |
| LIN Ming-xing
,
LV Bing-hai
,
YUAN Ju-long
,
DENG Qian-fa
,
MENG Ling-feng.Research on lapping process in mass production for precision Si3N4 ceramic ball[J].Mechanical & Electrical Engineering Magazine,2013,30(2). |
| |
| Authors: | LIN Ming-xing LV Bing-hai YUAN Ju-long DENG Qian-fa MENG Ling-feng |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | |
| 本文献已被 万方数据 等数据库收录！ |
|
