半导体制造领域显影工艺及显影喷嘴的发展

论述了显影工艺的发展及国内外对显影工艺的研究,指出了其存在的缺陷及技术发展难点,并对显影工艺中的重要部件显影喷嘴的发展过程进行了论述,介绍了各种显影喷嘴的工艺过程及结构功能,基于工艺要求分析了它们各自的优缺点以及可能产生的显影缺陷。从实际生产出发,针对显影工艺技术发展的客观趋势,指出了显影喷嘴的改进目标及未来发展方向。