| 压电驱动三维纳米这位系统的研究 |
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| 引用本文： | 王建林,周秀珍.压电驱动三维纳米这位系统的研究[J].压电与声光,2001,23(6):439-442. |
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| 作者姓名： | 王建林 周秀珍 |
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| 作者单位： | 北京化工大学信息科学与技术学院, |
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| 摘 要： | 在纳米科学与技术领域,纳米定位技术是实现纳米加工与测量的关键技术.本文作者采用柔性铰链为弹性导轨、压电陶瓷为微位移驱动器,设计了一种新颖的三维纳米定位机构.给出了其刚度公式和动力学模型,对压电陶瓷的压电误差及其补偿方法进行了分析.结合激光干涉仪微位移检测装置.设计并研制了数字闭环控制的三维纳米定位系统.验表明,该纳米定位系统定位精度优于±0.03 μm,定位分辨力3 nm.最大定位时间40 ms.
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| 关 键 词： | 压电陶瓷 纳米定位系统 压电驱动 |
| 文章编号： | 1004-2474(2001)06-0439-04 |
| 修稿时间： | 2001年8月2日 |
Research on 3D Nanopositioning System Driven by Piezoelectric Ceramic |
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| WANG Jian lin,ZHOU Xiu zhen.Research on 3D Nanopositioning System Driven by Piezoelectric Ceramic[J].Piezoelectrics & Acoustooptics,2001,23(6):439-442. |
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| Authors: | WANG Jian lin ZHOU Xiu zhen |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | piezoelectric ceramic piezoelectric error nanopositioning system digital closed loop control |
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