| 结合ELID磨削与磁流变光整加工的单晶硅反射镜超精密制造技术 |
| |
| 引用本文： | 尹韶辉,陈逢军,张导成,大森整,林伟民,上原嘉宏.结合ELID磨削与磁流变光整加工的单晶硅反射镜超精密制造技术[J].纳米技术与精密工程,2007,5(3):220-223. |
| |
| 作者姓名： | 尹韶辉 陈逢军 张导成 大森整 林伟民 上原嘉宏 |
| |
| 作者单位： | 1. 湖南大学国家高效磨削工程技术研究中心,长沙,410082
2. 日本理化学研究所,东京,3510198 |
| |
| 摘 要： | 分析了在线电解修整（ELID）磨削和磁流变光整加工（MRF）的加工原理与特点，充分结合这2种技术的优点对单晶硅反射镜进行纳米级精度的组合加工．首先进行ELID高效率磨削，在线检测工件表面误差后进行补偿磨削，使反射镜面加工成形，并获得较好的形状精度和表面质量．然后，利用磁流变技术进行确定性的光整加工，以减少反射镜的亚表面损伤，使加工表面的形状精度与表面粗糙度得到很大提高与改善．利用该组合工艺，对硅反射镜进行了系列的加工实验，高效率地得到了低于1nmRMS的表面粗糙度和69nmp-V形状精度的工件表面．
|
| 关 键 词： | 单晶硅反射镜 在线电解修整 磁流变光整加工 形状精度 表面粗糙度 |
| 文章编号： | 1672-6030（2007）03-0220-04 |
| 修稿时间： | 2007-05-17 |
Nano-Precision Finishing Process Integrated with ELID-Grinding and MRF for Silicon Mirror |
| |
| YIN Shao-hui,CHEN Feng-jun,ZHANG Dao-cheng,OHMORI Hitoshi,LIN Wei-min,UEHARA Yoshihiro.Nano-Precision Finishing Process Integrated with ELID-Grinding and MRF for Silicon Mirror[J].Nanotechnology and Precision Engineering,2007,5(3):220-223. |
| |
| Authors: | YIN Shao-hui CHEN Feng-jun ZHANG Dao-cheng OHMORI Hitoshi LIN Wei-min UEHARA Yoshihiro |
| |
| Affiliation: | 1. National Engineering Research Center for High Efficiency Grinding, Hunan University, Changsha 410082, China; 2.Institute of Physical and Chemical Research (RIKEN |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | |
| 本文献已被 维普 万方数据 等数据库收录！ |
|
