| 基于SOC的微气压传感器研究 |
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| 引用本文： | 高仁璟,唐祯安,张凤田,王海霞,江胜峰. 基于SOC的微气压传感器研究[J]. 中国机械工程, 2005, 16(Z1): 155-157 |
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| 作者姓名： | 高仁璟 唐祯安 张凤田 王海霞 江胜峰 |
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| 作者单位： | 大连理工大学,大连,116024 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助重点项目(90207003) |
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| 摘 要： | 研究了基于SOC的微气压测试系统的工作原理,设计了基于集成温度传感器的微气压测试系统.以AD590为例,实现了微气压测试和系统的单片集成.测试结果表明,在恒功率加热模式下,系统在一定的气压范围(1～100kPa)内,对微小气压的响应具有良好的线性性质,易于实现信号处理电路和传感电路的单片集成.
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| 关 键 词： | 微气压 测试系统 SOC AD590 |
| 文章编号： | 1004-132X(2005)S1-0155-03 |
| 修稿时间： | 2005-04-11 |
Research on Vacuum Sensors Based on SOC |
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| Gao Renjing,Tang Zhenan,Zhang Fengtian,Wang Haixia,Jiang Shengfeng. Research on Vacuum Sensors Based on SOC[J]. China Mechanical Engineering, 2005, 16(Z1): 155-157 |
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| Authors: | Gao Renjing Tang Zhenan Zhang Fengtian Wang Haixia Jiang Shengfeng |
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