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RF激励CO_2激光器中的阻抗匹配分析
引用本文:王又青,安承武,李再光.RF激励CO_2激光器中的阻抗匹配分析[J].中国激光,1997,24(3):202-208.
作者姓名:王又青  安承武  李再光
作者单位:华中理工大学激光技术国家重点实验室
摘    要:根据传输线中高频电磁波的传播理论及网络理论分析了射频(RF)激励CO2激光器中的阻抗匹配问题,获得了等效阻抗匹配网络的设计方法及计算有关参数的普遍表达式。这一结果同样适用于其它高频激励CO2激光器的阻抗匹配网络的参数计算

关 键 词:阻抗匹配,RF激励,CO2激光器
收稿时间:1995/12/4

Study of Matching Network in the RF Excited CO 2 Laser
Wang Youqing,An Chengwu,Li Zaiguang.Study of Matching Network in the RF Excited CO 2 Laser[J].Chinese Journal of Lasers,1997,24(3):202-208.
Authors:Wang Youqing  An Chengwu  Li Zaiguang
Abstract:The basic issues of impedance matching in a radio frequency discharge excited CO 2 laser are theoretically discussed in detail. A general and very applicable formula for selecting the parameters of the equivalent matching network is obtained. The results are also used to calculate the matching network parameters for other high frequency discharge excited CO 2 lasers.
Keywords:radio frequency discharge excited CO  2 laser  impedance matching  
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