| 降低硅微机械加速度传感器横向灵敏度的方法 |
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| 引用本文： | 费龙 钟先信 等. 降低硅微机械加速度传感器横向灵敏度的方法[J]. 光学精密工程, 1995, 3(1): 64-68 |
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| 作者姓名： | 费龙 钟先信 等 |
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| 作者单位： | [1]国家教委光电技术及系统开放实验室，重庆630044 [2]重庆大学 |
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| 摘 要： | 本文分析了硅微机械加速度传感器横向灵敏度产生的原因,并介绍了降低它的方法。
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| 关 键 词： | 横向灵敏度 加速度传感器 硅微 |
| 收稿时间： | 1994-09-19 |
Methods for reducing Senssitivity of Micromachined Silicon Accelerometer |
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| Fei Long,Zhong Xianxin, Wen Zhiyu,Lin Guixiong and GaoYang. Methods for reducing Senssitivity of Micromachined Silicon Accelerometer[J]. Optics and Precision Engineering, 1995, 3(1): 64-68 |
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| Authors: | Fei Long Zhong Xianxin Wen Zhiyu Lin Guixiong GaoYang |
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| Affiliation: | The Institute of Optoelectronic Machinary of Chongqing University, Chongqing 630044 |
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| Abstract: | This paper analyses the cross sensitivity of miromachined silieon accelerometer.Methodsfor reducing sensitivity of micromachined silicon accelerometer are described. |
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| Keywords: | Cross sensitivity Accelerometer Micromachined silicon |
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