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| 固态MO源流量不稳定的原因分析和改进方法 | |
| 引用本文： | 安华.固态MO源流量不稳定的原因分析和改进方法[J].低温与特气,1996(1):10-13. |
| 作者姓名： | 安华 |
| 作者单位： | 化工部光明化工研究所 |
| 摘 要： | 分析了固态ＭＯ源流量不稳定的原因，并设计一种新式ＭＯ源瓶。试验结果表明，固态ＭＯ源充装在新式瓶内，可以保证在外延过程中，ＭＯ源流量稳定和连续供应。 |
| 关 键 词： | MO源 三甲基铟 金属有机化合物 半导体 |
| 本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录！ | |
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