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X射线双晶衍射在分布布喇格反射镜研制中的应用
引用本文:
林世鸣,高洪海,张春辉,吴荣汉,庄岩,王玉田.X射线双晶衍射在分布布喇格反射镜研制中的应用[J].半导体学报,1996,17(4):257-260.
作者姓名:
林世鸣
高洪海
张春辉
吴荣汉
庄岩
王玉田
作者单位:
中国科学院半导体研究所
摘 要:
本文利用X光双晶衍射的动力学理论对垂直腔面发射激光器(VCSEL)的分布布喇格反射境(DBR)的特性曲线进行了模拟研究.从中得到DBRAlAs/AIxGa1-xAs的厚度及组分x值,应用所得到的这些数值进行光学薄膜反射谱的模拟计算,并与实验所测得的DBR反射谱进行比较,得到了证实.我们应用这套方法指导VCSEL外延片的生长,获得了良好的结果.
关 键 词:
DBR
VCSEL
X射线双晶衍射
激光器
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