|
|||||
|
|
| X射线双晶衍射在分布布喇格反射镜研制中的应用 | |
| 引用本文： | 林世鸣,高洪海,张春辉,吴荣汉,庄岩,王玉田.X射线双晶衍射在分布布喇格反射镜研制中的应用[J].半导体学报,1996,17(4):257-260. |
| 作者姓名： | 林世鸣 高洪海 张春辉 吴荣汉 庄岩 王玉田 |
| 作者单位： | 中国科学院半导体研究所 |
| 摘 要： | 本文利用Ｘ光双晶衍射的动力学理论对垂直腔面发射激光器（ＶＣＳＥＬ）的分布布喇格反射境（ＤＢＲ）的特性曲线进行了模拟研究．从中得到ＤＢＲＡｌＡｓ／ＡＩｘＧａ１－ｘＡｓ的厚度及组分ｘ值，应用所得到的这些数值进行光学薄膜反射谱的模拟计算，并与实验所测得的ＤＢＲ反射谱进行比较，得到了证实．我们应用这套方法指导ＶＣＳＥＬ外延片的生长，获得了良好的结果． |
| 关 键 词： | DBR VCSEL X射线双晶衍射 激光器 |
| 本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录！ | |
| 点击此处可从《半导体学报》浏览原始摘要信息 | |
| 点击此处可从《半导体学报》下载全文 | |