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| 差异式离子泵在同轴磁控管上的应用 | |
| 作者姓名： | 何兴权 陈福赞 陶昌立 |
| 作者单位： | 北京真空电子器件研究所，北京真空电子器件研究所，北京真空电子器件研究所 |
| 摘 要： | 利用差异式离子泵在同轴磁控管上作动态排气,以抽除管子在脉冲老炼或工作时放出的气体。由于同轴磁控管在排气过程中,电子轰击内腔,而难以排除外腔、调谐活塞以及衰减负载等的出气问题。这些部件在老炼或工作时,在高频能量的作用下,将会放出大量的气体,致使管子不能正常工作,甚至真空度下降,以至阴极中毒、打火等,用一附加泵抽除这些气体是 |
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