| 纳米材料与微电极生物传感器 |
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| 引用本文： | 王利,蔡新霞,李华清,郭增军,饶能高. 纳米材料与微电极生物传感器[J]. 微纳电子技术, 2003, 40(7): 526-528 |
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| 作者姓名： | 王利 蔡新霞 李华清 郭增军 饶能高 |
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| 作者单位： | 中国科学院电子研究所,传感技术国家重点实验室,北京,100080 |
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| 基金项目： | 国家高技术研究发展计划项目(编号:2002AA404510, 2002AA302106);国家自然科学基金项目(编号:60276039);教育部留学回国人员科研启动基金;人事部留学人员科技活动择优经费项目资助 |
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| 摘 要： | 主要阐述了利用微电子机械加工技术制作一种新型的微电极集成生物传感器，并利用电化学方法在微电极表面固定超微粒的纳米材料，检验纳米材料对生物传感器稳定性、灵敏度、响应时间等影响。这种具有纳米尺度效应的生物传感器将在生物医学领域有着广阔的应用前景。
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| 关 键 词： | 纳米材料 微电极 生物传感器 MEMS技术 绝缘层 铂黑 |
| 文章编号： | 1671-4776(2003)07/08-0526-03 |
| 修稿时间： | 2003-05-15 |
Nano-material and Microelectrode Biosensors |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | SU8 |
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