| In-As-Sb-C-H五元系热力学分析与In(As,Sb) MOVPE工艺设计 |
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| 引用本文： | 李静波,张维敬,李长荣,杜振民. In-As-Sb-C-H五元系热力学分析与In(As,Sb) MOVPE工艺设计[J]. 稀有金属, 1998, 22(3): 216-218 |
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| 作者姓名： | 李静波 张维敬 李长荣 杜振民 |
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| 作者单位： | 北京科技大学材料科学与工程系,北京100083 |
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| 摘 要： | 本文模拟ＭＯＶＰＥ工艺设定热力学条件，建立了涉及５个相和５４个气相物种的ＩｎＡｓＳｂＣＨ五元系热力学系统。采用先进的热力学计算方法，对该系统进行了热力学分析。计算结果与实验结果比较发现，热力学计算能较好地预测系统相关系及半导体相成分。
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| 关 键 词： | 热力学分析 MOVPE In As Sb C H |
Thermodynamic Analysis of In-As-Sb-C-H Systemand Design of MOVPE Process for In(As,Sb) Semiconductor |
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| Li Jingbo,Zhang Weijing,Li Changrong,Du Zhenmin. Thermodynamic Analysis of In-As-Sb-C-H Systemand Design of MOVPE Process for In(As,Sb) Semiconductor[J]. Chinese Journal of Rare Metals, 1998, 22(3): 216-218 |
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| Authors: | Li Jingbo Zhang Weijing Li Changrong Du Zhenmin |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Thernodynamic analysis MOVPE In As Sb |
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