| 恒压式气体微流量计的性能测试 |
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| 引用本文： | 冯焱,成永军,赵定众,张涤新,李得天. 恒压式气体微流量计的性能测试[J]. 真空科学与技术学报, 2005, 25(3): 217-221 |
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| 作者姓名： | 冯焱 成永军 赵定众 张涤新 李得天 |
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| 作者单位： | 兰州物理研究所,兰州,730000 |
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| 摘 要： | 介绍了恒压式气体微流量计的组成及性能实验.实验结果表明,气体流量的测量范围为(2.96×10-9～4.76×10-4)Pa·m3/s,不确定度小于4%.标准漏孔的校准结果与德国PTB校准结果的一致性好于1.3%.
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| 关 键 词： | 气体微流量计 性能评价 流量测量 流量标准 校准 |
| 文章编号： | 1672-7126（2005）03-0217-05 |
| 收稿时间： | 2004-08-06 |
| 修稿时间： | 2004-08-06 |
Performance of Constant Pressure Gas Micro-flowmeter |
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| Feng Yan,Cheng Yongjun,Zhao Dingzhong,Zhang Dixin,Li Detian. Performance of Constant Pressure Gas Micro-flowmeter[J]. JOurnal of Vacuum Science and Technology, 2005, 25(3): 217-221 |
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| Authors: | Feng Yan Cheng Yongjun Zhao Dingzhong Zhang Dixin Li Detian |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Gas micro-flowmeter Performance evaluation Throughput measurement Throughput standard Calibration |
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