半导体功率模块芯片低空洞焊接研究

芯片的焊接技术是功率模块制造最为重要的一环,芯片低空洞率焊接对功率模块的参数性能至关重要。主要通过不同的工装夹具和焊接方法比较了两种不同焊接方案,在此基础上选用Sn-Cu、Sn-Ag、Sn-Sb三种不同焊片进行真空焊接,利用X-Ray衍射仪、光学显微镜等测试手段,对微观组织进行了分析,发现Ag元素对合金组织有很好的润湿性,对减少焊接层空洞有利。