气相沉积技术制备6.5wt%Si高硅钢的研究进展期刊界 All Journals 搜尽天下杂志传播学术成果专业期刊搜索期刊信息化学术搜索

气相沉积技术制备6.5wt%Si高硅钢的研究进展

摘要：	综述了化学气相沉积法(CVD)、物理气相沉积法(PVD)和等离子体化学气相沉积法(PCVD)三类气相沉积技术制备高硅钢的工艺和路线,并对其前景进行了展望。
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