| 氟化类金刚石(F-DLC)薄膜的红外分析 |
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| 引用本文： | 肖剑荣,徐慧,张德恒,马松山. 氟化类金刚石(F-DLC)薄膜的红外分析[J]. 真空科学与技术学报, 2007, 27(3): 236-240 |
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| 作者姓名： | 肖剑荣 徐慧 张德恒 马松山 |
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| 作者单位： | 1. 中南大学物理科学与技术学院,长沙,410083;桂林工学院数理系,桂林,541004
2. 中南大学物理科学与技术学院,长沙,410083 |
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| 摘 要： | 以CF4和CH4为源气体,利用射频等离子体增强化学气相沉积法,在不同条件下制备了氟化类金刚石(F-DLC)薄膜,并进行了退火处理。红外分析表明,F-DLC薄膜中主要有C-Fx(x=1,2,3)、C-C、C-H2、C-H3和C=C化学键等。低功率下制备的薄膜主要由C-C、CF和CF2键构成,功率增加时,薄膜内C-C键含量相对增加;气体流量比R(R=CF4/[CF4 CH4])增大,薄膜内F的含量增加,C-C键相对减少;高温退火后,薄膜内部分F和几乎全部的H从膜内逸出,薄膜的稳定温度在300℃以上。低功率、高流量比下制备的薄膜,F含量相对较大,介电常数较低。
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| 关 键 词： | F-DLC薄膜 化学键 傅里叶变换红外光谱 介电常数 |
| 文章编号： | 1672-7126（2007）03-236-05 |
| 修稿时间： | 2006-07-31 |
Growth and Optical Properties of Fluorinated Diamond-Like Carbon Films |
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| Xiao Jianrong,Xu Hui,Zhang Deheng,Ma Songshan. Growth and Optical Properties of Fluorinated Diamond-Like Carbon Films[J]. JOurnal of Vacuum Science and Technology, 2007, 27(3): 236-240 |
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| Authors: | Xiao Jianrong Xu Hui Zhang Deheng Ma Songshan |
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| Affiliation: | 1. School of physics science and technology, Central South University, Changsha ,410083, China; 2. Department of Physics and Math, Guilin Univershy of Technology, Guilin,541004, China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | F-DLC thin films Chemical bonding FTIR Dielectric constant |
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