| Al_2O_3衬底上制备非晶碳薄膜及其场发射特性研究 |
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| 引用本文： | 王朝勇,张会远,姚宁.Al_2O_3衬底上制备非晶碳薄膜及其场发射特性研究[J].压电与声光,2015,37(4):659-661. |
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| 作者姓名： | 王朝勇 张会远 姚宁 |
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| 作者单位： | (1.河南城建学院 数理学院,河南 平顶山 467036；,2.河南城建学院 交通运输学院,河南 平顶山 467036；,3.郑州大学 材料物理教育部重点实验室,河南 郑州 450052) |
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| 基金项目： | 河南省科技攻关基金资助项目(122102210099);河南省教育厅基金资助项目(12B14007,12A140001) |
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| 摘 要： | 在Al2O3陶瓷衬底上用直流磁控溅射技术沉积过渡层Mo,再利用微波等离子体化学沉积系统在Mo过渡层上制备非晶碳薄膜,利用X线衍射(XRD)、拉曼(Raman)和电镜扫描(SEM)技术分析了薄膜的结构和表面形貌,测试了所制备样品的场发射及其发光特性,研究了薄膜的场发射特性。结果表明,所制备的薄膜为非晶碳和Mo2C的复合薄膜。所制备的薄膜具有较好的场发射特性,开启场强为0.74V/μm,1.8V/μm的场强下发射电流密度达到6 800μA/cm2,且发光点分布均匀,利用迭代法计算了所制备薄膜的有效场发射面积和其功函数。
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| 关 键 词： | 非晶碳 场发射 Al2O3陶瓷 |
Field Emission Property of Amorphous Carbon Fabricated on the Al2O3 Ceramic |
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| WANG Zhaoyong,ZHANG Huiyuan and YAO Ning.Field Emission Property of Amorphous Carbon Fabricated on the Al2O3 Ceramic[J].Piezoelectrics & Acoustooptics,2015,37(4):659-661. |
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| Authors: | WANG Zhaoyong ZHANG Huiyuan and YAO Ning |
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| Affiliation: | (1.School of Mathematics and Physics,Henan Urban Construction University,Pingdingshan 467036,China;,2.School of Transportation Engineering,Henan Urban Construction University,Pingdingshan 467036,China; and 3.School of Physical Engineering and Laboratory of Material Physics,Zhengzhou University,Zhengzhou 450052,China) |
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