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| 蓝宝石衬底基片工艺质量检测指标及方法的研究进展 | |
| 引用本文： | 徐晓明,周海,卓志国,臧跃. 蓝宝石衬底基片工艺质量检测指标及方法的研究进展[J]. 现代制造工程, 2013, 0(3) |
| 作者姓名： | 徐晓明 周海 卓志国 臧跃 |
| 作者单位： | 1. 常州大学,常州213016;盐城工学院,盐城224051 2. 盐城工学院,盐城,224051 3. 盐城工学院,盐城224051;江苏大学,镇江212013 |
| 基金项目： | 江苏省自然科学基金项目，江苏省高校科研成果产业化推进项目，江苏省"青蓝工程"项目，江苏省新型环保重点实验室开放课题基金项目，江苏省生态环境材料重点建设实验室开放课题资助项目，国际科技合作聘专重点资助项目 |
| 摘 要： | 根据蓝宝石衬底基片国家标准和国际质量保证体系标准,结合目前蓝宝石衬底基片生产和科研的实际情况,阐述了目前蓝宝石衬底基片生长、掏棒切片、研磨抛光和清洗加工过程中的质量检测指标、检测方法,以及检测设备.指出了蓝宝石衬底基片检测技术的研究对衬底基片生产的重要性.总结了蓝宝石衬底基片检测技术的现状,半导体材料GaN衬底用蓝宝石单晶的纯度要达到99.999％以上,位错密度在102/cm2范围内,晶片切片厚度偏差不超过20μm,表面粗糙度要达到Ra0.3nm水平.指出了现有检测技术的不足和今后的发展趋势,对蓝宝石衬底检测技术的进一步发展具有引导性的作用. |
| 关 键 词： | 蓝宝石 衬底 检测指标 检测方法 检测设备 |
Research progress of detection technology for sapphire substrate |
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| Xu Xiaoming , Zhou Hai , Zhuo Zhiguo , Zang Yue. Research progress of detection technology for sapphire substrate[J]. Modern Manufacturing Engineering, 2013, 0(3) | |
| Authors: | Xu Xiaoming Zhou Hai Zhuo Zhiguo Zang Yue |
| Abstract: | |
| Keywords: | |
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