依靠科技架长虹——阳极氧化多层布线基板工艺研究走红 |
| |
引用本文: | 刘彤.依靠科技架长虹——阳极氧化多层布线基板工艺研究走红[J].世界产品与技术,2000(5):39-42. |
| |
作者姓名: | 刘彤 |
| |
作者单位: | 信息产业部电子第43研究所 |
| |
摘 要: | 在微电子领域中,以布线密度高、互连线短、体积小、重量轻及性能优良等特点为人们所关注的MCM组件,仍是21世纪电子技术发展的重点之一。而多层布线基板又是MCM的一个非常关键的组成部分。随着这些年不断地开发和研制,有机叠层基板、共烧陶瓷多层基板、淀积薄膜多层基板已发展得较成熟,混合多层基板和新出现的阳极氧化多层基板还在研制过程中。
|
关 键 词: | 阳极 氧化多层布线基板 微电子 多层芯片组件 制造工艺 |
本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录! |
|