纳米级微动试验台的隔振设计研究 |
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作者姓名: | 刘平成 杨晓红 吴晓琳 杨圣 |
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作者单位: | 盐城工学院机械工程系,江苏,盐城,224003;南京航空航天大学 |
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基金项目: | 国家自然科学基金资助项目!(598750 38) |
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摘 要: | 通过二锥隔振系统的力学分析,得到关于质量、刚度、阻尼比三方面结论,指导多自由度隔振系统的设计,设计出了纳米级微动试验台的隔振系统。仿真实验表明,该系统具有良好的隔振效果。此隔振设计方法对超精密机床、超微定位机构等超低传递率隔振设计有一定的参考价值。
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关 键 词: | 纳米 微动试验台 隔振 传递率 |
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