具有快速响应的MEMS同步反射镜阵列 |
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作者姓名: | 金友 |
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作者单位: | |
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摘 要: | 台湾Tamkang大学和台湾国立大学的研究人员正在开发出一种能使激光打印机打印速度更快、消耗功率更低的新型微反射镜阵列。将每一个反射镜像元分割成由许多较小的反射镜构成的阵列,因而使同样面积的反射镜能耗更少。这种新器件包含一种能使反射镜保持在子像元锁相状态的机构,因此提高了它的光效率。这一研究目前只处于初期的样机研制阶段,但研究人员已经证明了这种阵列器件的同步技术的工作原理,并能制造出器件所需的各种结构。
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关 键 词: | 快速响应 MEMS 同步反射镜阵列 微机电系统 |
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