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| La,O^＋双注入硅基薄膜室温可见光室发光研究 | |
| 引用本文： | 元美玲,曾宇昕.La,O^＋双注入硅基薄膜室温可见光室发光研究[J].功能材料与器件学报,2000,6(4):361-364. |
| 作者姓名： | 元美玲 曾宇昕 |
| 作者单位： | [1]南昌大学物理系,南昌 [2]南昌大学材料科学与工程系,南昌 |
| 基金项目： | 中国科学院资助项目，69766001， |
| 摘 要： | 测量了用离子注入方法将Ｌａ、Ｏ＾＋双注入硅基样品在室温下的光致发光（ＰＬ）谱，实验结果表明它们均具有蓝、紫发光峰，且发光稳定。在一定范围内发光效率随退火温度和注入顺序的不同而变化。用原子力显微镜观察了不同条件下制备的样品的表面形貌，并对样品的发光机理作了初步探讨。 |
| 关 键 词： | 离子双注入 光致发光 硅基薄膜 表面形貌 |
| 修稿时间： | 2000-07-17 |
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