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| 用AES研究离子溅射TiC薄膜 | |
| 作者姓名： | 朱勇 戚震中 |
| 作者单位： | 中国科学院固体物理研究所，中国科学院固体物理研究所 |
| 摘 要： | 用ＡＥＳ研究了离子溅射ＴｉＣ薄膜的成分分布及表面碳偏析。对升温过程中出现的表面碳偏析和游离态碳钛交互作用机理进行了分析，给出了偏析势力学的实验结果表达式。 |
| 关 键 词： | 碳化钛 薄膜 离子溅射 碳 偏析 AES 超硬材料 |
| 本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录！ | |
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