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| WIVS三维表面形貌测量仪 | |
| 引用本文： | 常素萍,谢铁邦.WIVS三维表面形貌测量仪[J].计量技术,2006(12):39-41. |
| 作者姓名： | 常素萍 谢铁邦 |
| 作者单位： | 华中科技大学机械科学与工程学院,武汉,430074 |
| 摘 要： | 介绍利用纳米计量垂直扫描工作台实现对6JA干涉显微镜的改造,研制出WIVS三维表面形貌测量仪。该仪器能够精确有效地测量Ra值为0.001~2.0μm的三维表面形貌。通过对改造前后的6JA干涉显微镜进行性能分析,说明了WIVS三维表面形貌测量仪能够满足工程表面测量的发展要求。 |
| 关 键 词： | 白光干涉 干涉显微镜 三维表面形貌测量 |
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